연구소 소개
ALD/CVD 전구체 개발을 위한
연구소에서 출발한 유피케미칼은
금속배선 재료, 유전체 재료, 확산 방지막,
접착막증착용 등 여러가지 목적의 전구체를 개발해 왔습니다
특히, DRAM 전하 저장 물질을 ALD 방법으로 증착하는 원료인 TMA, TEMAHF, TEMAZR를 세계 최초로 개발, 상용화하였습니다.
오늘도 유피케미칼의 연구소에서는 우수한 연구원들이 반도체, 디스플레이 산업에서 앞으로 사용할 재료들을 개발하고 있고, 개발한 재료들을 국내 및 해외의 반도체 소자 및 장비 업체와 협력하여 평가 및 개선하고 있습니다. 연구원들의 노력으로부터 다수의 지적재산권을 확보하였고 강한 특허 창출을 위해 노력하고 있습니다.
오늘도 유피케미칼의 연구소에서는 우수한 연구원들이 반도체, 디스플레이 산업에서 앞으로 사용할 재료들을 개발하고 있고, 개발한 재료들을 국내 및 해외의 반도체 소자 및 장비 업체와 협력하여 평가 및 개선하고 있습니다. 연구원들의 노력으로부터 다수의 지적재산권을 확보하였고 강한 특허 창출을 위해 노력하고 있습니다.