반도체 제조용 박막 증착 화합물 전구체 전문기업 유피케미칼(대표이사 손수익)이 자사의 기술력을 선보이며 세미콘 코리아 2015에 참가했다.

유피케미칼은 TMA(TriMethyl Aluminum), TEMAHf(Tetrakis Ethyl Methyl Amino Haf-nium), TEMAZr, MPA(1-Methoxy-2-Propyl-acetate) 및 TiCl4 등 다수의 반도체 공정 전구체 제품을 국내외 반도체 양산 라인에 공급하고 있다.

이번 세미콘 코리아에서 주력하고 있는 제품으로 ZOA203(Cyclopentadienyl Tris(dimethylamino) Zirconium)과 Ceramable(Polysilazane SOD Materials)을 꼽았다.

Ceramable의 경우 일본의 A社가 국내 반도체 대기업 두 군데를 모두 독식하고 있던 시장을 품질경쟁력을 바탕으로 국산화한 후 2014년부터 한 대기업에 납품을 시작해 올해 100% 납품을 앞두고 있다.

외국 기업에 비해 납기단축이나 환율변동에 따른 가격변동이 없는 가격 안정성 등 국내 제품이 가진 기본적인 장점이 있지만, 갈수록 미세해 지고 복잡해지는 반도체 공정에서 요구하는 첫째 조건은 고품질이다.

고품질을 유지할 수 있었던 것은 회사 초기 설립이 연구소에서 시작됐기 때문이라면서 전구체가 웨이퍼 위에서 분사돼서 물질변환을 거칠 때 발생하는 수축률과 –NH 작용기가 –O-로 바뀌는 전환률이 높아 최종적으로 반도체 제품 불량률이 매우 낮아진다는 점을 잘 이해하고 있기 때문이다.

액체가 아닌 증기 상태, 고온에서 반응하고, 연계된 다음 과정에서 더욱 고온을 거치면서 수축륙은 변화할 수 있고, 화학반응인 만큼 환경에 다양한 변수가 있을 수 있는데, 이를 고려한 전구체를 통해 수요업체에 제품에 대한 신뢰를 쌓을 수 있었다.

ZOA203의 경우 High-K(SiO2보다 유전율이 높은 물질들)제품으로 DRAM에 들어가는 커패시터의 전극과 유전물질로 사용되는 ZrO2, Al2O3, ZrO 등의 전구체다.

특히 ZrO2의 경우 전량을 외국에서 수입해서 사용하던 과거에서 유피케미칼에서 최초로 국산화에 성공해 납품하고 있어 원천기술력을 보유하고 있어 유피케미컬의 큰 자랑거리다.

식스나인(순도 99.9999% 이상)을 자랑하는 고품질을 보장하고 품질이 균일하게 좋은 특성을 유지하는 재현성을 보여 고객사에서 Ceramable을 납품하는 국내 대기업에 납품을 지속하고 있다.

김진식 유피케미칼 기술마케팅 부장은 “수요처에서 싼 저품질 제품을 찾기보다 가격이 있더라도 고품질과 재현성 있는 제품을 찾고 있다”면서 “이 외에도 다양한 물질들을 국산화하기 위해 연구소에서는 연구개발에 정진할 것”이라고 밝혀 향후 성장이 기대된다.