¹Ù·Î°¡±â ¸Þ´º


UP Chemical Co.,Ltd.

  • ´º½º
  • °øÁö»çÇ×
  • °í°´»ç/Çù·Â±â°ü
  • Help Desk

Home> °í°´¼¾ÅÍ > º¸µµÀÚ·á

À¯ÇÇÄɹÌÄ®, Ç°Áú·Â ¹«±â·Î ¹ÝµµÃ¼ Àü±¸Ã¼ ½ÃÀå °³Ã´
°ü¸®ÀÚ  admin@upchem.co.kr 15.02.05 2130

À¯ÇÇÄɹÌÄ®, Ç°Áú·Â ¹«±â·Î ¹ÝµµÃ¼ Àü±¸Ã¼ ½ÃÀå °³Ã´ZOA203 ±¹»êÈ­ ù ¼º°ø, °íÇ°Áú¡¤ÀçÇö¼ºÀ¸·Î ½Å·Ú ¾ò¾î

2015-02-05 ±èÀº°æ kek@amenews.kr


¡ã ±èÁø½Ä À¯ÇÇÄɹÌÄ® ±â¼ú¸¶ÄÉÆà ºÎÀåÀÌ ÀÚ»ç Á¦Ç°ÀÇ ³ôÀº Àüȯ·üÀ» º¸¿©ÁÖ´Â FT-IR µ¥ÀÌÅÍ ¾Õ¿¡¼­ Àǹ̸¦ ¼³¸íÇÏ°í ÀÖ´Ù. .

 

¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿ë ¹Ú¸· ÁõÂø È­ÇÕ¹° Àü±¸Ã¼ Àü¹®±â¾÷ À¯ÇÇÄɹÌÄ®(´ëÇ¥ÀÌ»ç ¼Õ¼öÀÍ)ÀÌ ÀÚ»çÀÇ ±â¼ú·ÂÀ» ¼±º¸ÀÌ¸ç ¼¼¹ÌÄÜ ÄÚ¸®¾Æ 2015¿¡ Âü°¡Çß´Ù.

À¯ÇÇÄɹÌÄ®Àº TMA(TriMethyl Aluminum), TEMAHf(Tetrakis Ethyl Methyl Amino Haf-nium), TEMAZr, MPA(1-Methoxy-2-Propyl-acetate) ¹× TiCl4 µî ´Ù¼öÀÇ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ Àü±¸Ã¼ Á¦Ç°À» ±¹³»¿Ü ¹ÝµµÃ¼ ¾ç»ê ¶óÀο¡ °ø±ÞÇÏ°í ÀÖ´Ù.

À̹ø ¼¼¹ÌÄÜ ÄÚ¸®¾Æ¿¡¼­ ÁÖ·ÂÇÏ°í ÀÖ´Â Á¦Ç°À¸·Î ZOA203(Cyclopentadienyl Tris(dimethylamino) Zirconium)°ú Ceramable(Polysilazane SOD Materials)À» ²Å¾Ò´Ù.

CeramableÀÇ °æ¿ì ÀϺ»ÀÇ AÞä°¡ ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ ´ë±â¾÷ µÎ ±ºµ¥¸¦ ¸ðµÎ µ¶½ÄÇÏ°í ÀÖ´ø ½ÃÀåÀ» Ç°Áú°æÀï·ÂÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ±¹»êÈ­ÇÑ ÈÄ 2014³âºÎÅÍ ÇÑ ´ë±â¾÷¿¡ ³³Ç°À» ½ÃÀÛÇØ ¿ÃÇØ 100% ³³Ç°À» ¾ÕµÎ°í ÀÖ´Ù.

¿Ü±¹ ±â¾÷¿¡ ºñÇØ ³³±â´ÜÃàÀ̳ª ȯÀ²º¯µ¿¿¡ µû¸¥ °¡°Ýº¯µ¿ÀÌ ¾ø´Â °¡°Ý ¾ÈÁ¤¼º µî ±¹³» Á¦Ç°ÀÌ °¡Áø ±âº»ÀûÀÎ ÀåÁ¡ÀÌ ÀÖÁö¸¸, °¥¼ö·Ï ¹Ì¼¼ÇØ Áö°í º¹ÀâÇØÁö´Â ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡¼­ ¿ä±¸Çϴ ù° Á¶°ÇÀº °íÇ°ÁúÀÌ´Ù.

°íÇ°ÁúÀ» À¯ÁöÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú´ø °ÍÀº ȸ»ç Ãʱ⠼³¸³ÀÌ ¿¬±¸¼Ò¿¡¼­ ½ÃÀ۵Ʊ⠶§¹®À̶ó¸é¼­ Àü±¸Ã¼°¡ ¿þÀÌÆÛ À§¿¡¼­ ºÐ»çµÅ¼­ ¹°Áúº¯È¯À» °ÅÄ¥ ¶§ ¹ß»ýÇÏ´Â ¼öÃà·ü°ú –NH ÀÛ¿ë±â°¡ –O-·Î ¹Ù²î´Â Àüȯ·üÀÌ ³ô¾Æ ÃÖÁ¾ÀûÀ¸·Î ¹ÝµµÃ¼ Á¦Ç° ºÒ·®·üÀÌ ¸Å¿ì ³·¾ÆÁø´Ù´Â Á¡À» Àß ÀÌÇØÇÏ°í Àֱ⠶§¹®ÀÌ´Ù.

¾×ü°¡ ¾Æ´Ñ Áõ±â »óÅÂ, °í¿Â¿¡¼­ ¹ÝÀÀÇÏ°í, ¿¬°èµÈ ´ÙÀ½ °úÁ¤¿¡¼­ ´õ¿í °í¿ÂÀ» °ÅÄ¡¸é¼­ ¼öÃà·úÀº º¯È­ÇÒ ¼ö ÀÖ°í, È­ÇйÝÀÀÀÎ ¸¸Å­ ȯ°æ¿¡ ´Ù¾çÇÑ º¯¼ö°¡ ÀÖÀ» ¼ö Àִµ¥, À̸¦ °í·ÁÇÑ Àü±¸Ã¼¸¦ ÅëÇØ ¼ö¿ä¾÷ü¿¡ Á¦Ç°¿¡ ´ëÇÑ ½Å·Ú¸¦ ½×À» ¼ö ÀÖ¾ú´Ù.

ZOA203ÀÇ °æ¿ì High-K(SiO2º¸´Ù À¯ÀüÀ²ÀÌ ³ôÀº ¹°Áúµé)Á¦Ç°À¸·Î DRAM¿¡ µé¾î°¡´Â Ä¿ÆнÃÅÍÀÇ Àü±Ø°ú À¯Àü¹°Áú·Î »ç¿ëµÇ´Â ZrO2, Al2O3, ZrO µîÀÇ Àü±¸Ã¼´Ù.

ƯÈ÷ ZrO2ÀÇ °æ¿ì Àü·®À» ¿Ü±¹¿¡¼­ ¼öÀÔÇؼ­ »ç¿ëÇÏ´ø °ú°Å¿¡¼­ À¯ÇÇÄɹÌÄ®¿¡¼­ ÃÖÃÊ·Î ±¹»êÈ­¿¡ ¼º°øÇØ ³³Ç°ÇÏ°í ÀÖ¾î ¿øõ±â¼ú·ÂÀ» º¸À¯ÇÏ°í ÀÖ¾î À¯ÇÇÄɹÌÄÃÀÇ Å« ÀÚ¶û°Å¸®´Ù.

½Ä½º³ªÀÎ(¼øµµ 99.9999% ÀÌ»ó)À» ÀÚ¶ûÇÏ´Â °íÇ°ÁúÀ» º¸ÀåÇÏ°í Ç°ÁúÀÌ ±ÕÀÏÇÏ°Ô ÁÁÀº Ư¼ºÀ» À¯ÁöÇÏ´Â ÀçÇö¼ºÀ» º¸¿© °í°´»ç¿¡¼­ CeramableÀ» ³³Ç°ÇÏ´Â ±¹³» ´ë±â¾÷¿¡ ³³Ç°À» Áö¼ÓÇÏ°í ÀÖ´Ù.

±èÁø½Ä À¯ÇÇÄɹÌÄ® ±â¼ú¸¶ÄÉÆà ºÎÀåÀº ¡°¼ö¿äó¿¡¼­ ½Ñ ÀúÇ°Áú Á¦Ç°À» ã±âº¸´Ù °¡°ÝÀÌ ÀÖ´õ¶óµµ °íÇ°Áú°ú ÀçÇö¼º ÀÖ´Â Á¦Ç°À» ã°í ÀÖ´Ù¡±¸é¼­ ¡°ÀÌ ¿Ü¿¡µµ ´Ù¾çÇÑ ¹°ÁúµéÀ» ±¹»êÈ­Çϱâ À§ÇØ ¿¬±¸¼Ò¿¡¼­´Â ¿¬±¸°³¹ß¿¡ Á¤ÁøÇÒ °Í¡±À̶ó°í ¹àÇô ÇâÈÄ ¼ºÀåÀÌ ±â´ëµÈ´Ù.

¡ã ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ Àü±¸Ã¼ ¹°ÁúÀ» »ý»êÇÏ´Â À¯ÇÇÄɹÌÄ®ÀÌ ´Ù¾çÇÑ ¹°ÁúµéÀ» ¼Ò°³Çϱâ À§ÇØ ¼¼¹ÌÄÜ ÄÚ¸®¾Æ 2015¿¡ Âü°¡Çß´Ù. .
À¯ÇÇÄɹÌÄ®, '°æ±âµµ »ê¾÷ü STOP CO2 ¸àÅ丵 »ç¾÷¡¯ ¿ì¼ö±â¾÷' ¼±Á¤