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UP Chemical Co.,Ltd.

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Al
Code Name 반도체용 비반도체용 Detail
Al13-001 TMA Cap. Dielectric OLED, Solar Cell
Al13-002 BP-TMA Cap. Dielectric  
Al13-003 TTBA TiAlN 전극  
Si
Code Name 반도체용 비반도체용 Detail
Si14-002 TEMAS SiO2/SiN  
Si14-003 Tris-EMAS SiO2/SiN  
Si14-004 Tris-DMAS SiO2/SiN  
Si14-007 BEMAS DPT&TSV-SiO2  
Si14-008 BDEAS DPT&TSV-SiO2  
Si14-010 TEAS SiO2/SiN  
Si14-011 TPYS SiO2/SiN  
Si14-012 HCDS DPT, SiO2/SiN  
- Ceramable® 560 Spin-on Dielectric  
- NeoCeramic®   Functional Coating
Ti
Code Name 반도체용 비반도체용 Detail
Ti22-001 TDEAT TiO2 , TiN  
Ti22-002 TDMAT TiO2 , TiN  
Ti22-003 TEMAT TiO2 , TiN  
Ti22-004 TTIP TiO2  
Ti22-005 TiCl4 TiN  
Cr
Code Name 반도체용 비반도체용 Detail
Cr24-001 Cr(CO)6   LCD Repair
Co
Code Name 반도체용 비반도체용 Detail
Co27-001 CCTBA 메탈콘택, 전극(CoSi2)  
Cu
Code Name 반도체용 비반도체용 Detail
Cu29-001 Cu(hfac)2 배선재료 CuO, 2차전지
Cu29-002 (hfac)Cu(DMB) 배선재료 CuO, 2차전지
Cu29-003 Cu(ethylketoiminate)2 배선재료 CuO, 2차전지
Zn
Code Name 반도체용 비반도체용 Detail
Zn30-001 DEZ   Solar Cell
Ge
Code Name 반도체용 비반도체용 Detail
Ge32-001 TDMAGe GST  
Ge32-002 TEMAGe GST  
Ge32-003 GTIP GST  
Ge32-004 Ge(iBu)4 GST  
Sr
Code Name 반도체용 비반도체용 Detail
Sr38-001 Sr(tmhd)4 high-k, STO, BST  
Y
Code Name 반도체용 비반도체용 Detail
Y39-001 Y(iPrCp)3 high-k, Ln2O3  
Zr
Code Name 반도체용 비반도체용 Detail
Zr40-001 TEMAZr Cap. Dielectric  
Zr40-002 CpZr(NMe2)3 Cap. Dielectric  
Zr40-003 EtCpZr(NMeEt)3 Cap. Dielectric  
Nb
Code Name 반도체용 비반도체용 Detail
Nb41-001 TBITEMANb Cap. Dielectric, Electrode  
Mo
Code Name 반도체용 비반도체용 Detail
Mo42-001 Mo(CO)6   LCD Repair
Ru
Code Name 반도체용 비반도체용 Detail
Ru44-001 Ru(EtCp)2 Cap. Electrode  
In
Code Name 반도체용 비반도체용 Detail
In49-001 INCA-1   Oxide TFT, TCO, In2O3
Sn
Code Name 반도체용 비반도체용 Detail
Sn50-001 TEMASn   Solar Cell
Sn50-002 TDMASn   Solar Cell
Sn50-003 TMSn   Solar Cell
Sb
Code Name 반도체용 비반도체용 Detail
Sb51-001 TDMASb GST  
Sb51-003 Sb(iPr)3 GST  
Sb51-004 Sb(OEt)3 GST  
Te
Code Name 반도체용 비반도체용 Detail
Te52-001 Te(iPr)2 GST  
Te52-002 Te(tBu)2 GST  
La
Code Name 반도체용 비반도체용 Detail
La57-001 La(iPrCp)3 high-k, Ln2O3  
Gd
Code Name 반도체용 비반도체용 Detail
Gd64-001 Gd(iPrCp)3 high-k, Ln2O3  
Hf
Code Name 반도체용 비반도체용 Detail
Hf72-001 TEMAHf Cap. Dielectric  
Hf72-002 EtCpHf(NMeEt)3 Cap. Dielectric  
Hf72-003 CpHf(NMe2)3 Cap. Dielectric  
Ta
Code Name 반도체용 비반도체용 Detail
Ta73-001 TBITEMATa Cap. Dielectric, Electrode  
Ta73-002 TBTDET Cap. Dielectric, Electrode  
Ta73-003 PET Cap. Dielectric  
W
Code Name 반도체용 비반도체용 Detail
W74-001 W(CO)6   LCD Repair
Bi
Code Name 반도체용 비반도체용 Detail
Bi83-001 Bi(iPr)3 GST & Dopant 금속산화막
Bi83-002 BiMe3 GST & Dopant 금속산화막
Bi83-003 BiEt3 GST & Dopant 금속산화막
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