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UP Chemical Co.,Ltd.

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Home> 제품정보 > 반도체 재료 (DRAM & Flash & Logic Device)

TDMAT

Physical Characteristics
Chemical Name TDMAT
[Tetrikis-Dimethylamino Titanium]
Formula Ti[N(CH3)2]4
Solid Content 224.28 g/mol
Boiling Point 50℃/0.5torr
Vapor Pressure 0.08torr/20℃
Density 0.96g/mL
Phase at 25 ℃ Yellow Liquid
Safety and Dangerous
NFPA 코드
유해 그림
NFPA 코드유해 그림
Specification
- Assay: 99.9999% (metal base)
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