바로가기 메뉴


UP Chemical Co.,Ltd.

  • 주기율표보기
  • 디스플레이&태양광재료
  • 기능성 코팅재료
  • 전체 제품보기

Home> 제품정보 > 반도체 재료 (DRAM & Flash & Logic Device)

TBITEMATa

Physical Characteristics
Chemical Name TBITEMATa
[Tertiary-Butyl Imido Tris-Ethylmethylamino Tantalum]
Formula [(tBuN)Ta(N(CH3)(C2H5))3]
Solid Content 426.38 g/mol
Boiling Point 70℃/0.1torr
Vapor Pressure 0.1torr/80℃
Density 1.30g/mL
Phase at 25 ℃ Pale Yellow Liquid
Safety and Dangerous
NFPA 코드
유해 그림
NFPA 코드유해 그림
Specification
- Assay: 99.9999% (metal base)
주기율표 보기