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UP Chemical Co.,Ltd.

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Home> 제품정보 > 반도체 재료 (DRAM & Flash & Logic Device)

Tris-DMAS

Physical Characteristics
Chemical Name Tris-DMAS
[Tris-Dimethylamino Silane]
Formula HSi((N(CH3)2)3
Solid Content 161.32 g/mol
Boiling Point 142℃
Vapor Pressure 3.5torr/ 20℃
Density 0.88 g/mL
Phase at 25 ℃ Colorless Liquid
Safety and Dangerous
NFPA 코드
유해 그림
NFPA 코드유해 그림
Specification
- Assay: 99.9999% (metal base)
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